Semcon 2500 -自动化学电镀工具

特性

• 具有动态调度软件的三轴洁净室级自动提升机
• 旋转成型罐设计了圆角，以减少拼盘
• 在处理槽和储层中独立可调的流量控制
• 多配方管理系统，数据记录可追溯
• 具有可编程混合顺序的化学加药和灌装系统
• 可选择定制或行业标准晶圆盒

好处

• 交钥匙过程可包括分析控制器，化学剂量，和Technic Elevate化学和浸没化学。
• 完全兼容所有Technic Elevate化学品，通过能够快速建立最佳工艺参数和有效的控制系统，减少时间和成本。
• 节省空间的配置——处理单元格配置为两行，而不是单行，这使得工具略深但短得多。充分利用宝贵的洁净室地板空间。
• 延长沐浴寿命-旋转成型圆角水箱设计，通过防止尖角和不规则表面的多余板出，延长沐浴寿命。
• 晶圆片尺寸加工灵活性(50 - 200mm)。
• 可靠性和价值-由在化学镀和浸渍生产电镀方面经验丰富的行业领导者设计、制造和安装。