电镀卫生探测器

Technic的电镀健康探测器（PHD）开发了用于RTA 3D分析仪的操作，可以监视和维护“ BATH Health”。

在晶圆表面的铜板过程中，发生了大量不良的侧面反应。结果，在镀层浴中积累了各种分解产品。此外，总是有可能（尽管很遥远）将外国污染物引入电镀室。铜电化学工艺（还原和/或氧化）非常敏感分解产物和/或污染物。

RTA MTEP用于监测专门为此目的AC和DC伏安法扫描设计的更改。化学计量方法可以量化这些变化，因此显示了数值（任意单位）浴状态指标。

  • 降解产物，副产品，电镀浴污染物引起RTA伏安图的改变
  • 伏安图的变化被量化并显示为浴场状态指标。
  • 与电化学测量耦合化学计量学可提供基于性能的电沉积过程的总体表征
  • 检测到从预期条件进行的任何短途旅行，并将警告发送给操作员。