基本工具为研发和低批量产生提供可靠的晶圆电镀结果
美国RI Cranston- 技术SEMCON 1000对市场并不陌生,但它在过去十年中的发展使其成为必不可少的工具晶圆沉积评估和应用程序性能测试。
SEMCON 1000是专门设计和开发的研究和低容量应用测试和生产。该工具具有单个电镀单元格和一个拖动冲洗单元,可在与自定义持有人一起使用时启用晶片或离散零件的电镀/电饰。Semcon 1000是能够在包括SI,GAAS,INP等的各种底物上处理多个不同的电镀应用。
SEMCON 1000是根据技术非常成功的SEMCON 2000系列建模的手动晶圆湿长凳工具。该过程单元和底盘设计用于易于有效的维护和过程转换。SEMCON 1000是独立的,由白色聚丙烯构建,其清晰的PVC工艺盖旨在满足1000类洁净室规格。电镀电池组件包括加热源,温度控制,低级安全传感器,泵和过滤器,直流电源和电镀架。
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